驰诚公司CCZK-SFL系列连续磁控镀膜生产线(镀钛设备)流水线可适用于幕墙玻璃,铝镜,反光镜生产,配备旋转阴极,平面阴极磁控溅射靶。可以在大平板玻璃上镀制一至多层特殊的金属或金属氧化物,金属氮化物薄膜,金属单质膜,复合膜,Low- E辐射膜也可在小弯的弧形玻璃上镀膜。镀膜线产量高,每年可镀膜200万平方米以上,多室传动,充分保证膜层的均匀性,物理性。
CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线
腔体结构:采用高效的卧式连续磁控镀膜流水线,配备前后粗抽室,前后过渡室,前后精抽室,前后缓冲室,彩镀室。
靶材设计:采用新型旋转阴极靶材以及平面阴极靶材。
电源配置:配备大功率中频磁控溅射电源
传动系统:滚轴传动,变频可调,感应式室门开启系统。
真空系统:扩散泵(分子泵)+罗茨泵+机械泵+深冷泵
可镀膜玻璃或平板,尺寸可定制
生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。
生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
电气控制:生产线采用PLC全过程控制,快速的生产节拍,配备工业计算机显示系统。
人机对话:控制系统能实现人、机对话,及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示,故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。
其他技术参数:
极限真空: 3.0×10-2Pa
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;
一般规格:W1200mm*L2000mm(单室) W1500mm*L2400mm(单室)
真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做
ITO导电膜镀膜,幕墙玻璃,非晶硅太阳能电池,Low-e低辐射玻璃,铝镜彩镜等各种产品的连续式镀膜生产。