产品名称：
CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线（镀钛设备）

CCZK-SFL连续磁控镀膜生产线

腔体结构：采用高效的卧式连续磁控镀膜流水线，配备前后粗抽室，前后过渡室，前后精抽室，前后缓冲室，彩镀室。

靶材设计：采用新型旋转阴极靶材以及平面阴极靶材。

电源配置：配备大功率中频磁控溅射电源

传动系统：滚轴传动，变频可调，感应式室门开启系统。

真空系统：扩散泵（分子泵）+罗茨泵+机械泵+深冷泵

可镀膜玻璃或平板，尺寸可定制

生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。

生产线采用了均匀进气管结构设计，气流注入均匀平缓；

电气控制：生产线采用PLC全过程控制，快速的生产节拍，配备工业计算机显示系统。

人机对话：控制系统能实现人、机对话，及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示，故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。

其他技术参数：

极限真空： 3.0×10-2Pa

水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；

一般规格：W1200mm*L2000mm(单室） W1500mm*L2400mm(单室）

真空室尺寸或设备配置可按客户产品及特殊工艺要求订做

ITO导电膜镀膜，幕墙玻璃，非晶硅太阳能电池，Low-e低辐射玻璃，铝镜彩镜等各种产品的连续式镀膜生产。