真空系统是真空电镀机的核心组成部分，操作人员需要熟悉各真空泵的启动顺序和配合关系，以缩短抽气时间并保护设备。
日常开机时，首先启动冷却水循环系统。冷却水对扩散泵、分子泵以及镀膜源的冷却至关重要，水压和水流量应保持在规定范围内。检查水路有无泄漏，各进水阀处于开启状态。然后启动机械泵，打开粗抽阀，将真空室从大气压抽至低真空。机械泵工作时会产生振动和噪音，应将其放置在减震基座上，排气管应通向室外。
当真空度达到约5帕时，可以开启罗茨泵。罗茨泵不能在常压下启动，否则会因过载而发热甚至损坏。罗茨泵启动后，抽气速度显著提高，真空度快速下降。此时需要观察罗茨泵的温升，若温度过高应检查前级管路是否通畅。对于配备分子泵的系统，还需要在罗茨泵工作一段时间后，待真空度进入帕级范围再启动分子泵。分子泵属于高速旋转设备，启动过程中需倾听声音，确认无异常振动。
扩散泵的启动需要更长的预热时间。扩散泵油加热至工作温度约需30分钟，期间应保持前级机械泵持续运转。操作人员可通过观察扩散泵顶部的温度计或热电偶读数来判断是否达到工作状态。在扩散泵预热期间，可以关闭粗抽阀，只通过旁通管路维持低真空。当扩散泵准备就绪后，打开高真空阀，真空度会迅速进入10^-3帕甚至更高。
在镀膜过程中，工艺气体通过质量流量计通入，真空度会有所回升。操作人员需要密切监视真空计读数，根据工艺要求调节气体流量。对于反应镀膜，反应气体与工作气体的比例需要精确控制，真空度的波动会直接影响膜层成分和颜色。当镀膜结束后，首先关闭工艺气体，关闭高真空阀，然后关闭扩散泵或分子泵的加热，让它们自然冷却。在扩散泵未冷却至80度以下时，不得关闭机械泵，防止泵油倒流污染真空室。
停机的顺序与开机相反。关闭高真空阀后，机械泵继续运行一段时间，待扩散泵降温，最后关闭机械泵和冷却水。在整个抽气和放气过程中，操作人员应避免频繁开启真空室门，以防止水汽和灰尘进入。每次打开真空室后，应对密封圈进行检查和清洁，涂抹少量真空脂，以保持良好的密封性能。
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