真空电镀机在运行之前，工件表面的清洁程度直接决定了膜层的附着力与外观质量。操作人员需要掌握系统的清洁流程，确保每一批工件都达到可镀状态。
工件进炉前，首先需要去除表面的油污和指纹。机械加工过程中残留的切削液、防锈油以及操作人员徒手接触留下的汗渍，都会在真空中挥发或污染膜层。常用的脱脂方法包括超声波清洗，将工件浸入含有碱性清洗剂的溶液中，利用超声波的空化效应将微细缝隙中的油污剥离。清洗后需要用纯水漂洗，去除残留的清洗剂。对于形状复杂的工件，还可以增加蒸汽脱脂工序，利用有机溶剂蒸气冷凝溶解油污。
除油后的工件表面可能还存在氧化层或锈迹。对于金属工件，可采用酸洗或喷砂处理。酸洗使用稀盐酸或硫酸溶液，快速溶解表面的氧化皮，然后立即中和并冲洗，防止过腐蚀。喷砂处理利用压缩空气将细小的磨料（如氧化铝砂）高速喷射到工件表面，既能去除氧化层，又能形成均匀的粗糙度，提高膜层附着力。喷砂后需要用高压空气吹净残留的磨料颗粒。
清洗干净的工件必须尽快装炉，避免再次被空气中的湿气和灰尘污染。装夹时，操作人员需要佩戴洁净的棉布手套或丁腈手套，手指不得直接接触工件的镀面。对于批量生产的工件，可以预先将工件固定在专用的挂具上，挂具采用不锈钢材料，接触点设计为尖刺或弹簧夹，既能导电又能减少遮挡。挂具在使用前同样需要清洗或喷砂，去除之前沉积的膜层。
在工件装入真空电镀机后，还需要进行离子轰击清洗。这一过程在真空室内进行，通过通入氩气并施加负偏压，产生辉光放电。正离子加速轰击工件表面，将残留的吸附物和微量氧化层溅射掉。离子清洗的时间和偏压参数需要根据工件材料和形状调整。对于有深孔或狭缝的工件，需要适当延长清洗时间，并确保气体能够进入这些区域。
对于某些特殊材料，如塑料或陶瓷，清洗方法有所不同。塑料工件不能承受高温烘烤，也不适合酸洗，通常采用酒精或异丙醇擦拭，然后低温烘干。陶瓷工件表面可能吸附较多水分，需要在真空室中进行加热除气，温度不宜过高以防开裂。无论何种材料，镀前处理的最终目标都是获得一个清洁、活化、无污染的表面，为后续镀膜打下良好基础。
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