镀膜设备之油扩散泵的维护

油扩散泵是镀膜设备中的重要组成部分，油扩散泵应用非常广泛，是真空镀膜中非常常见的一种抽真空的机器。正确使用油扩散泵有助于提高镀膜质量和延长泵的使用寿命。下面，简单介绍一下油扩散泵的维护。

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    1、装配油扩散泵前，需要用航空汽油洗净其所有零件，然后烘干；
    2、安装方向要垂直安装；
    3、若油扩散泵出现故障，导致泵油氧化，泵芯形成许多黄色污斑，严重的产生黑色污斑，需要将其重新拆开，彻底清洗；
    4、拆装油扩散泵时要小心，不要磕碰到零部件。
    为了更好的维护油扩散泵，需要了解一下其常见的故障。

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    1、扩散泵不起作用
    原因：①抽真空系统漏气；②加热炉出现问题；③加热炉温度和油温低；④泵出口压强过高；⑤泵本身漏气。
    解决：①对抽真空系统进行检漏，查出漏点，然后解决；②检查加热炉的电源的接触是否良好，炉丝是否烧断；③检查加热炉的电压和电流是否符合规定；④检查前级管道是否漏气或前级泵是否正常工作；⑤检查前级管道与泵体的焊接处，泵底与泵体的焊接处有无漏气。
    2、抽速过低
    原因：①泵油温度低；②泵芯安装错误。
    解决：①检查加热炉的电压电流是否符合要校正；②检查各级喷口的位置和间隙。